二手 MATTSON Aspen III Lite #9390391 待售

MATTSON Aspen III Lite是一款集成半導體晶圓器件處理的多功能單波形蝕刻器/asher。它是一個緊湊、經濟高效的解決方案，旨在滿足研發（R&D）半導體器件制造和研究的需要。其單波形技術的精確度能夠在很小的占地面積內產生精確的蝕刻和灰化特征，提供出色的分辨率和準確性。AspenIII Lite采用穩定、均勻的紫外線光源，能夠產生50nm的最小線寬和精確的深度控制。它能夠支撐包括鉻、多晶矽和氮化物在內的多種面膜類型。該設備配備了亞微米、石英基、非接觸式、無反射顯示器，用於精確的過程數據采集和監測。除了存儲在機器中以供以後分析外,還可以實時準確提取數據。MATTSON Aspen III Lite配備了機電元件，有助於在整個熱處理範圍內減少漂移並保持精度。這包括高溫準分子燈電源、閉環溫度控制系統和電容驅動蝕刻單元。它有鋁轉移到加工室，使得它適合晶圓尺寸從3「到8」。Aspen III Lite支持多種蝕刻/灰化工藝，包括VLE（真空電平蝕刻）、iSLE（原位局部蝕刻）、Wet Ash、PECVD（等離子增強化學氣相沈積）、ECR（電子回旋共振）。它配備了大面積晶圓處理能力，集成到定制設計的腔室中。它最多可同時支持五（5）個過程，最多可在內存中存儲五（5）個配方配方。通過使用警報和聯鎖裝置在發生故障時關閉操作,確保過程的所有階段的安全。此外，MATTSON Aspen III Lite還為VME總線和駕駛員控制之間的信號線路保護了電流隔離變壓器免受外部幹擾。這樣可以確保機載通信和控制系統保持完好無損,並在理想狀態下運行。該機易於使用直觀的操作員界面操作，並為安裝、應用和維護提供全面的支持服務。MATTSON還提供了用於數據日誌記錄和晶圓可追蹤性的軟件工具,使用戶可以完全控制其蝕刻/灰化過程。