二手 MATTSON Aspen III Nexion #9286405 待售

ID: 9286405
System.
MATTSON Aspen III Nexion是一款可靠且全方位的高效蝕刻器/asher。這種用途廣泛的工具專為各種工藝、材料和基材而設計,使其成為各種應用的理想選擇。其緊湊的設計和簡單、用戶友好的控制使得它易於使用和簡單的設置和操作。Aspen III Nexion使用電化學工藝蝕刻和清潔基材。它有一個圖形用戶界面,允許用戶選擇一個程序,並在需要時輕松修改設置進行流程調整。參數控制監視器向用戶提供反饋,從而可以精確控制蝕刻過程。根據工藝和基板的不同,這種蝕刻器既可以進行輕蝕刻,也可以進行深蝕刻,還可以進行厚膜去除。該機組具有可變射頻發電機,輸出功率範圍從150瓦到2000瓦不等。它具有高溫性能,可用於高溫材料和介電層。它可以容納6英寸乘12英寸大小的基板,使其適合大多數應用。Asher的墻壁由不銹鋼材料制成,在惡劣的環境中提供卓越的耐用性。MATTSON Aspen III Nexion旨在提供最大的工藝性能和效率。該系統配有內置的粒子探測器和高速傳感器,使用戶能夠更準確地監控整個蝕刻過程。高真空室可確保工藝氣體不會從蝕刻環境中逸出,從而提高安全性並防止汙染物釋放。Aspen III Nexion是各種應用的理想選擇。它可靠,易於使用,並提供精確一致的結果。其高溫能力、可變射頻發生器、粒子檢測器使其適合一系列材料、基材和工藝。由於這些原因,它是可靠高效蝕刻的首選。
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