二手 MATTSON Aspen III #9095966 待售

MATTSON Aspen III蝕刻/灰化設備是一種先進的精密蝕刻/灰化系統，使用高溫、高壓的反應氣體混合物形成完美精密的蝕刻和灰化。Aspen III使用三種與樣品對齊的加熱加壓反應物氣體噴射器，形成超高溫壓微環境。隨著高溫和壓力的混合和反應，化學物質形成催化反應，蝕刻樣品。由於先進的工藝監測裝置，樣品的蝕刻和灰化可以得到精確的控制和微調。內置軟件監控過程的溫度、壓力和其他指標，以確保準確性和質量。該機還配有一個5軸移動平臺，便於樣品對準，以及一個激光連接口，用於精確的樣品和基板位置對準。先進的精密蝕刻和灰化技術與MATTSON Aspen III的精密監控工具相結合，使得材料和工藝得以優化。其結果是一個高質量的、控制的過程，最小的浪費和產量。AspenIII為用戶提供了對蝕刻和灰化過程的絕對控制。此資產非常適合精細復雜的蝕刻/灰化過程,適用於各種行業。