二手 MATTSON Aspen #9092961 待售

MATTSON Aspen
ID: 9092961
晶圓大小: 6"
Triode systems, 6".
MATTSON Aspen是業界領先的蝕刻商/ashers之一。它是一個緊湊的蝕刻/asher設備,設計用於中高批量生產。Aspen是一個完全自動化的系統,無人值守,並提供精確的深度控制蝕刻材料。它還為多個作業提供了非常快速和高效的處理。該機配備了由高扭矩交流伺服電動機提供動力的主軸傳動裝置,以獲得可靠和準確的蝕刻/灰化結果。其最大主軸轉速為20,000 rpm,最大深度精度為0.001 mm。MATTSON Aspen還利用變速控制軸進行精確的深度控制。Aspen有一個CNC控制單元,它能夠將任意數量的蝕刻/ashing操作編程到單個作業中。它還具有獨特的「快速激光切割」功能,可快速高速去除粗細材料。這大大提高了蝕刻/灰化工藝的生產率。MATTSON Aspen有一個非常用戶友好的、基於Windows的軟件界面,用於編程任何蝕刻/ashing操作。該計算機還具有一個基於以太網的以太網/IP通信端口,用於監視刀具狀態和進行診斷。此外,Aspen還具有用於與基於PC的數據日誌應用程序通信的RS 232串行端口。MATTSON Aspen 蝕刻/ashing資產是由重型工業級部件構成的,旨在實現極高的可靠性。操作成本低,適用於大、小零件加工。總體而言,Aspen是蝕刻/灰化需求的絕佳選擇。
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