二手 MATTSON Paradigm SI #9231982 待售

MATTSON Paradigm SI是一種蝕刻器/asher，用於厚薄膜電路處理。該設備為執行各種類型的蝕刻和灰化工藝提供了一個通用平臺。該系統具有一個「浮動」的工藝室，從而消除了對真空源的需求，從而形成了一個清潔和可重復的工藝環境。兩部分設計由一個旋轉的六室蝕刻和灰化站以及一個加工站組成，通過凸起的墻壁與蝕刻/灰燼室的真空環境隔離。Paradigm SI的六個蝕刻和灰燼室采用可定制的射頻和微波源設計，允許用戶在一個批次中設置多個進程。腔室還包括用於優化過程的數字電源控制和用於執行端點監視（EPM）的過程控制。MATTSON Paradigm SI的七個處理工作站使用戶能夠在一次運行中沈積多達七個金屬層。工藝站配置為濺射沈積、電沈積和無電沈積。除了蝕刻和灰燼之外,Paradigm SI還提供各種過程監視和控制功能,包括用於精確過程控制的高級軟件包。這樣就可以將配方寫入設備並實時跟蹤結果,從而使用戶無需手動調整控制參數即可輕松修改和編程流程。MATTSON Paradigm SI還能夠利用先進的噴嘴組件執行可重復的過程,該組件由三軸噴嘴支架、雙軸刀刃處理程序和可調節的陶瓷流動杯組成。這樣就可以對厚薄膜層進行一致的均勻蝕刻和處理，從而產生可靠的高產電路處理。Paradigm SI獨特的內置清潔機制有助於在每個進程運行過程中維護工藝室、噴嘴和附件。該機器為加工室的內部和外部以及噴嘴組件提供自動清洗功能。這為高質量的電路處理提供了高效一致的環境，並最大限度地降低了交叉汙染的風險。總體而言,MATTSON Paradigm SI是一個高度高級的蝕刻器/asher工具,具有許多高級特性和功能。其精確和可重復的過程使用戶能夠實現一致可靠和高質量的電路處理。其多功能性和先進的監控能力也使其成為現代電路制造和過程控制的寶貴工具。