二手 MATTSON Paradigm SI #9236728 待售

MATTSON Paradigm SI是一款為先進半導體生產而設計的蝕刻/asher設備。它是一個特別配置的系統，旨在滿足高度先進的半導體生產和封裝操作的要求。Paradigm SI通過獨特的蝕刻和asher配置組合,提供業界領先的功能、靈活性和成本節約。該裝置建立在一個強大的蝕刻平臺上，具有高速腐蝕工藝優化和可靠的沈積沈積技術。它配備了多種精密工藝控制，包括O2等離子體蝕刻能力、陶瓷面膜技術，以及額外的高頻配方優化以提高生產率。它的模塊化結構還使用戶能夠更輕松地集成現成的組件以升級機器性能。MATTSON Paradigm SI的ashing/沈積功能是一流的。這包括高精度縱橫比控制、可調源束角度、高清通道等特點。它還包括用於創建精細陣列特征的精確二進制抖動,以及針對特定設備特性進行優化的高級沈積分析。其先進的晶圓處理能力包含晶圓處理的最新進展，以提供最高的吞吐量。這包括使用完全集成的高分辨率視覺工具,該工具具有晶圓、介電和抗性塗層自動化功能。它還包括一個熱納米打印設置，旨在提高吞吐量和盡量減少工藝變化。Paradigm SI的用戶界面包括維護專業和操作站支持,提供真正的資產控制、自動化和性能分析功能。其中包括詳細的圖形用戶界面屏幕、強大的流程確認功能、易於配置的模型等功能。此外，設備還配備了實時SPC合規性監測，使操作員隨時了解關鍵工藝參數。總體而言,MATTSON Paradigm SI蝕刻器和asher系統提供半導體生產和封裝操作,具有業界領先的生產能力。其先進的蝕刻和asher系統,加上通用的過程控制、強大的晶圓處理以及易於使用的用戶界面,使其成為執行高級過程的理想單元。