二手 MATTSON Paradigm SI #9236729 待售

MATTSON Paradigm SI是一種蝕刻器/asher，用於各種工業和研究應用。它提供了多種過程控制技術，允許對蝕刻和灰化過程進行微調控制。它利用激光束引導蝕刻/灰化過程，利用基於微處理器的控制器促進過程控制，利用高速采樣設備跟蹤過程信息，如溫度、壓力和電流。該技術主要用於半導體和MEMS行業，用於導線、通路、軌道和內存設備的精確陣列。範式SI可以支持多種蝕刻和灰化材料，如金屬、矽和塑料。該系統還提供了許多高級選項,如屏蔽和減速控制。MATTSON Paradigm SI采用先進的蝕刻和灰化技術，如定向蝕刻和退火。這些技術旨在確保高保真度圖樣和更一致、更可靠的蝕刻/灰化結果。定向蝕刻和退火包括控制蝕刻在基板上的蝕刻/灰化材料的數量，方法是將激光束聚焦在特定位置，同時加熱基板。這樣可以確保一致的蝕刻深度和均勻的蝕刻特性。該單元還采用了三維蝕刻室。該腔室允許處理使用常規蝕刻技術無法實現的長而復雜的形狀。3D蝕刻室還增加了尺寸精度，因為它有助於保持蝕刻圖案的尺寸均勻性。該機器還提供編程蝕刻和灰化功能。在編程模式下，Paradigm SI可以基於一組預定義的指令進行蝕刻和處理。這樣就可以對組件進行復雜、快速的路由,以及精確蝕刻特定的圖案。它還提供了一個「變異」功能，程序員可以在不停止該過程的情況下實時修改蝕刻過程。總體而言,MATTSON Paradigm SI是一種功能強大的蝕刻和灰化工具,可提供高級工藝控制功能、精密蝕刻/灰化以及高度可靠和一致的資產。它可用於多種行業和研究應用，是微調蝕刻和灰化的可靠且經濟實惠的選擇。