二手 MATTSON Paradigm SI #9241278 待售

MATTSON Paradigm SI是一種先進的蝕刻器/asher,旨在為材料研究提供高效、精確和過程控制的蝕刻和/或灰化解決方案。它是一種高效、基於機器人的批處理設備，利用創新的閉環控制系統，有選擇地蝕刻或沖洗單層或多層材料制成的晶片。Paradigm SI具有先進的多室工藝功能,對過程參數（包括氣流、溫度和等離子體功率）提供出色的時空控制。主室設有一個集成的射頻頂裝源，每個源都有獨立和隔離的電源。每個頂部裝載機模塊都包含一個聚焦的閉環準直抽取單元，該單元將等離子體均勻地分布在加工室內的晶片上。該腔室還包含一個簡化的升降機/卡帶機，方便晶圓裝卸。除了頂端裝載機外，MATTSON Paradigm SI還具有負載/卸載提升機制，以實現精確的氣體輸送和快速的晶圓放置。這種頂裝工具允許在加工過程中根據需要調整腔室壓力，最大限度地減少腔室汙染的風險，並維持晶圓蝕刻/灰化過程的全面控制。腔室還包含動態熱控制，允許晶圓溫度針對腔室內的所有條件精確設置，包括超壓。這確保了一致、高效的蝕刻/灰分過程,並最大限度地減少了管理高溫暴露所花費的時間。除了其先進的多室工藝功能外，Paradigm SI還提供了一些額外的蝕刻和灰化功能，包括能夠輕松選擇單個或多個晶片的處理以及多步驟處理。它還提供多種高容量耗材，包括不同的耗材晶片類型，專門為承受工藝溫度和射頻環境而設計。為了增加控制，資產還具有多種晶圓監控協議，使用戶能夠實時觀察晶圓結果，以及自動監控和控制蝕刻和灰化過程的關鍵參數，如壓力、流量、功率和溫度。這種先進的過程監控功能使MATTSON Paradigm SI成為一種高度可靠和高效的模型,使用戶能夠快速高效地創建高質量的蝕刻/灰化材料。