二手 MATTSON Paradigm SI #9241940 待售

MATTSON Paradigm SI是一種大體積的精密蝕刻設備，專門設計用於矽集成電路和晶圓的批量生產。這種高性能、經濟實惠的蝕刻平臺可以以較低的材料成本進行高速率蝕刻，質量一致，重復性優越。它特別適合作為蝕刻工藝的高電流源的大容量應用。範式SI提供了許多優於傳統的濕蝕刻技術。單個系統最多可容納四個蝕刻罐,並且能夠在一次運行中執行多個蝕刻步驟,從而節省時間和成本。Asher/etcher具有計算機控制的電源,它允許精確、精確和可重復的蝕刻協議,並對蝕刻深度和/或蝕刻速率進行區域控制。它還具有多層處理能力，允許這一單元用於生產復雜的IC和晶圓以及多層金屬和多矽。該機還具有用於切割窗口和其他穿透應用的刀具，以及用於金屬或多矽晶片預處理的高功率電源。MATTSON Paradigm SI配備了化學過濾工具，有助於減少因廢氣或排放物而受到化學汙染的機會。這種高效的廢氣資產還有助於減少徑流和離線成本,從而最大限度地減少環境影響和成本。微處理操作也可以在磨砂或napton黑色腔室中進行，允許優越的加工質量和控制。範式SI配備了高端監控和數據記錄系統，允許用戶跟蹤流程，監控每個流程的狀態，並接收即時反饋以提高效率。這種最先進的高性能蝕刻模型既可靠又高效，為精密電子元件的工業生產提供了最大的吞吐量和優異的效果。此外,MATTSON Paradigm可直接與CAD/CAM軟件交互,從而實現準確快速的設計更改。