二手 MATTSON Paradigm #293809621 待售

MATTSON Paradigm是一種蝕刻器/asher技術，采用光學光刻技術在基板上蝕刻或粉刷圖樣。該技術利用指向基板表面的粒子束來蝕刻或粉刷由單個像素位置組成的圖案。與傳統的光刻技術相比，這種工藝用於在基板上創建更小、更復雜的特征。該過程從創建掩碼開始,該掩碼包含需要蝕刻或灰化到基板上的陣列。然後，利用高能量的粒子源，例如電子束或離子束，將該掩模投射到基板上。光束照射蒙版的每個像素,這會導致底物在與蒙版像素相對應的區域中被蝕刻或灰化。隨著輻照過程的進行，基材的材料被去除，以創建所需的圖樣。範式的主要優點是它允許比傳統光刻技術更小的特征的蝕刻或灰燼。這是因為這一過程的特征大小明顯小於用於蝕刻或灰燼的粒子束的波長。此外,還可以對用於蝕刻或遮光的光束進行微調,以獲得超出典型平版印刷分辨率的特征。這項技術還提供了比光刻更快的蝕刻或灰分時間，並且還可以獲得比傳統光刻通常能實現的更復雜的圖案形狀。另外，在基板的兩側可以同時得到複雜的圖樣，使兩面蝕刻或灰化成為可能。在局限性方面，MATTSON Paradigm不適合制造電路或集成電路的設備。此外,由於蝕刻面膜的厚度,它不能蝕刻或磨損細粒度特征,這增加了蝕刻細紋的難度。總體而言,範式是一種強大的蝕刻或灰燼技術,它允許以高分辨率蝕刻或灰燼復雜的圖案,同時實現更快的循環時間。但是,該技術僅限於單獨的掩模布局,不適用於集成電路,而且在蝕刻或遮光細紋方面也受到限制。