二手 MATTSON Paradigm #9222745 待售

MATTSON Paradigm是一種精密且高度可靠的asher（或蝕刻器），用於制造電子工業中的微芯片和其他組件。它專為大批量生產復雜的電子元器件而設計，具有自動多室設備，用於蝕刻過程控制。範式由幾個相互連接的會議廳組成。EMD（蝕刻室）是主室，具有兩個精密的主軸，能夠進行八向運動，以實現所需的微芯片模式。ARC（電弧室）是第二室，旨在為薄膜沈積提供高精度的環境。最後，LE（激光雕刻室）的設計是為了在芯片圖樣設計過程中達到高分辨率和精確度。MATTSON Paradigm還具有一個過程控制系統,該系統具有用戶可編輯的設置,用於精確控制蝕刻操作。通過操作員對蝕刻參數進行進一步微調，以獲得最佳效率和精度。該單元允許存儲多個配方並易於訪問。這允許從一臺機器運行多個作業並同時處理各種材料。為了確保最高的精度和準確性,Paradigm采用了先進的機器診斷技術。這包括持續監測蝕刻室的溫度和壓力、主軸位置、激光束功率、圖樣方向以及剩余的光致抗蝕劑量。這些參數也與每個作業一起存儲，並重新調整，以最大限度地提高芯片模式的精度和產量。MATTSON還提供了獨特的熱浸工具，以保護蝕刻室溫度和促進蝕刻膜的均勻性。這延長了蝕刻室的壽命，並允許更高的吞吐量。總體而言,MATTSON Paradigm是用於大量生產復雜元件設計的理想解決方案。其特點使其成為快速、精確芯片蝕刻的首選資產。自動化的多室模型確保了最佳的過程控制，其先進的診斷設備確保了最高的精度和準確性，使其成為任何需要精確微芯片蝕刻的應用的理想解決方案。