二手 MATTSON Paradigme SI #9259601 待售
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MATTSON Paradigm SI是一種先進的蝕刻器/aser設備,設計用於設備制造的各種材料的精確陣列。該系統由三個主要組成部分組成：一個超高分辨率掃描單元、一個真空進給機構和一個壓力控制氣體以及一個專用的圖案室。掃描機利用專利掃描技術，幫助確保基板均勻暴露，以獲得最佳蝕刻產量。該工具的設計是為了盡可能高的精度和可重復性，隨著時間的推移陣列工藝參數。此外,資產還使用高級軟件套件,為用戶提供前所未有的蝕刻過程控制。真空進料機構旨在為蝕刻過程提供受控環境。這種真空進料模型消除了腔內的任何殘留氣體，有助於確保蝕刻工藝參數隨時間保持一致。此外，這種設備有助於確保圖樣與現有基材輪廓物理對齊。壓力控制氣體為蝕刻劑提供了精確均勻的分布。該系統利用蝕刻劑的流動連續填充蝕刻室。這樣可以確保蝕刻過程均勻且效率最高。此外，這一單元提供精確控制蝕刻劑的壓力和濃度所需的最佳模式。專用圖案室的設計允許同時對多層進行快速圖案化，或對單次通過的完整圖案化。該室能夠準確、重復地控制蝕刻環境，以確保每個圖案化，而無需大量的後期處理。這有助於減少總體生產時間和成本。總體而言,MATTSON Paradigm SI是一種先進的蝕刻器/aser機器,它提供了一種可靠且經濟高效的方法來在各種材料上生成復雜的圖案。超高分辨率掃描技術、真空進料機構和壓控氣體的結合，為用戶提供了無與倫比的蝕刻過程控制。此外，專用的圖案室有助於確保每個圖案正確對齊和完美與最小的後處理。
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