二手 MATTSON Suprema IM #9241280 待售

MATTSON Suprema IM是一種按訂單設計的工程師（ETO）幹蝕刻器/asher設備,旨在為高端半導體生產環境提供先進的工藝靈活性和成本效益。該系統為通用流程開發提供了一個全面的平臺,為高性能設備提供了擴展的工具功能,並為客戶需求提供了高級集成和軟件支持。Suprema IM單元通過使用獨特的等離子體源實現更高的性能穩定性和更高的效率水平。該源的設計可提供可調功率控制和更好的氣體大氣控制。等離子體源也為材料表面提供了強烈的化學吸附模式。該機還包括具有寬範圍溫度控制能力的三區流量控制，以提高加工精度。該工具還配備了高精度的工藝窗口。此窗口可確保精確的流程控制和可重復性,使客戶能夠通過其應用程序獲得更高的收益。資產還配備了計算機控制流程和數據收集的規定。這使客戶能夠監控工藝步驟、材料移動以及膜厚度的檢測/分析。除了這些功能外,MATTSON Suprema IM模型還設計為高度可靠且可現場使用。設備配有冗余組件，如電源、電源控制、通信等，一旦發生故障可輕松更換。此外，系統還建立了有效的維護和質量保證程序，以確保設備部件的最高質量和機器的性能。該工具還包括嵌入式軟件工具,可幫助客戶實現最高的流程性能。這包括MATTSON專有的過程控制軟件以及客戶提供的軟件。該軟件允許客戶自定義自己的流程配方,並為數據查看、分析和流程控制提供各種不同的實用程序。Suprema IM是一種高度先進且可靠的蝕刻器/asher資產,旨在為客戶提供流程靈活性和成本效益。它的高級特性和功能旨在使客戶能夠在其應用程序中實現盡可能高的性能。此外,它的維護功能和軟件工具使其成為滿足客戶服務需求的絕佳選擇。