二手 MATTSON Suprema IM #9241281 待售

MATTSON Suprema IM是一種自動化的、基於等離子體的濕蝕刻和灰化設備,設計用於處理200 mm以下的基板。它是半導體、薄膜、MEMS器件制造加工矽、GaAs、聚酰亞胺等蝕刻基材的理想選擇。通用平臺為用戶提供了在基板尺寸不超過200毫米的單個工具中進行蝕刻和灰化的能力。Suprema IM是一個先進的蝕刻系統，結合了高純度氣體輸送、精確的等離子體控制和溫度控制，用於先進的工藝操作。它利用Conac™導電蝕刻的第一種化學方法，將各種材料如矽基基板加工成金屬和介電材料，全部采用單一工具。MATTSON Suprema IM中的蝕刻功能提供低溫操作,有助於最大程度地減少汙染,並允許多個蝕刻步驟,同時保持基材質量。除了蝕刻，Suprema IM還具有基於等離子體的灰化工藝。它提供了一種受控揮發性等離子體灰分工藝，在單一工藝中產生高水平的灰分選擇性。這個過程利用遠距離等離子體或感應耦合等離子體（ICP）來提供介電殘留膜的低溫除灰。單位中的酸性化學物質為加工材料提供了較高水平的清潔度。MATTSON Suprema IM可配置其全面的交鑰匙包,並為每個處理室提供各種用戶設置,以實現最佳的可重復性。它還提供基於Windows/Mac的用戶界面，用戶可以在其中控制各種功能，如流程配方、與數據系統的連接以及遠程機器訪問。利用其數據庫功能,用戶可以存儲和調用配方,並保存參數設置以加快進程執行。為了確保有效的維護和故障排除,Suprema IM提供了一個預測性維護平臺,該平臺是一個集成的平臺,用於監視計算機並提醒用戶註意任何問題或潛在問題。該工具還具有高度的安全特性，可減少操作員在操作過程中接觸危險材料的情況。總體而言,MATTSON Suprema IM是一種先進而通用的濕蝕刻和灰化工具,適用於半導體、薄膜和MEMS器件制造的廣泛應用。它具有高度可配置的用戶平臺、自動化數據庫、預測維護以及高級安全功能,可提高生產效率和產量。