二手 MATTSON Suprema IM #9257461 待售

ID: 9257461
System.
MATTSON Suprema IM是為半導體行業設計的先進蝕刻和灰化機。Suprema IM能夠單批處理幾百個晶片,使其成為任何大批量生產需求的理想選擇。它具有高吞吐量、低擁有成本和更短的上市時間。MATTSON Suprema IM提供高級流程功能和快速吞吐量。它采用低壓冷藏蝕刻工藝,然後在不同的資本和溫度下與各種化學品動態結合。這提供了卓越的均勻性在蝕刻和灰化,以及低缺陷水平。它還具有先進的溫度控制功能,使用戶能夠優化蝕刻和蝕刻深度,以實現精細的圖案。它具有高達每小時80個晶圓的可擴展吞吐量,並配備自動調平功能,以確保每個周期都有精確的蝕刻深度。Suprema IM設計堅固耐用,耐用可靠。它帶有外圍設備包,包括底座、蝕刻和灰化系統、工藝配方模塊、機箱和底座加熱器。它還具有與其他MATTSON工藝檢驗和監控系統集成的高產和高產缺陷減少能力。它與大多數行業標準晶片拆裝和進給系統兼容,包括那些與ARMPAX晶片處理系統兼容的系統。MATTSON Suprema IM的設計非常易於使用。它帶有直觀的圖形用戶界面(GUI),用於調整流程條件和管理作業。它還具有易於傳輸和處理的功能,並具有高級故障檢測和恢復功能。此外,它的過程監測系統還提供實時分析和警報,以便采取快速糾正措施。總體而言,Suprema IM是一款針對半導體行業量身定制的高級蝕刻器和asher。它提供了卓越的流程功能、快速的吞吐量速率、強大的構造、直觀的用戶界面以及高級故障檢測和恢復功能。因此,它是任何大批量生產環境的理想選擇。
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