二手 MATTSON Suprema IM #9262053 待售

MATTSON Suprema IM是一款先進的蝕刻器/asher,非常適合關鍵且復雜的半導體器件制造。它具有卓越的性能、先進的過程控制、經濟高效和強大的可擴展性。此蝕刻器/asher的設計目的是以較低的使用成本提供最大程度的過程控制和可重復性。這種先進的蝕刻器/asher提供了極具競爭力的過程吞吐量、產品質量和過程可擴展性。Suprema IM具有高分辨率成像，最小特征尺寸為0.25µm，最小線寬為0.2µm。它還具有現場可編程門陣列（FPGA），允許蝕刻器/asher發展和適應未來的應用。MATTSON Suprema IM具有廣泛的蝕刻器和氣體工藝，包括反應性離子蝕刻（RIE）、各向同性蝕刻、化學蒸氣蝕刻（CVAE）和深層反應性離子蝕刻（DRIE）。這款蝕刻器/asher具有高規格的多種氣體控制選項、高分辨率成像和超精確匹配。它具有增強的靈活性和可擴展性,使蝕刻器/asher能夠用於各種過程模塊,從清潔空間到減少環境。Suprema IM具有獨特的腔室設計，允許從蝕刻器/灰燼中輕松裝卸晶片，從而縮短加工時間，降低意外汙染的風險。此外，該蝕刻器/asher具有先進的軟件，以確保統一蝕刻和工藝控制。MATTSON Suprema IM提供了卓越的過程控制精度,並為廣泛的應用提供了可重復和可重現的結果。它可以靈活地同時蝕刻多種材料，包括金屬、氧化物、氮化物和矽化物，並盡量減少資源的使用。這款先進的蝕刻器/asher適用於高端內存、邏輯、微處理器和光電子設備的應用。Suprema IM經濟實惠,在過程控制和設備制造方面提供最大效率。使用此蝕刻器/asher可減少停機時間,並為用戶提供執行復雜過程時的靈活性。高性能、靈活性和可擴展性的結合使MATTSON Suprema IM成為先進半導體器件制造的理想解決方案。