二手 MATTSON Suprema #182681 待售

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ID: 182681
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
Resist ashing system, 12" PM1: Double Wafer Ashing PM2: Double Wafer Ashing 2008 vintage.
MATTSON Suprema是一種蝕刻器/asher設備,用於在各種曲面上創建高分辨率結構、電路和陣列。廣泛應用於工程、器件制造、電路等微觀表面處理。這臺機器提供全面的特點和廣泛的兼容材料和基板的工作。Suprema為各種材料和工藝提供了一系列兼容的蝕刻選項。它包括總共六個外部安裝選項,包括激光、氦硼激光器、二氧化碳激光器、離子束和ArF激光器,以及反應性離子蝕刻和反應性離子銑削。這些工藝可以用來蝕刻黑色和有色材料,這取決於應用。它具有並行處理體系結構,具有最小的熱預算,以確保蝕刻器的使用壽命更長。MATTSON Suprema擁有全面的射頻屏蔽系統,使用戶能夠使用一系列高頻組件。過程中使用的氣體和其他材料使用一系列環境傳感器和多點處理架構進行精確控制。內置的自動檢測系統允許對進程進行遠程監控和數據記錄。使用獨特的Suprema RF源,可以通過任何類型的特征大小、方向和控制在導電曲面上蝕刻陣列和形狀。可以將工藝源配置為優化的蝕刻深度、深度控制和時間,以獲得最佳效果。機器的各種選擇和特點使其非常適合在實驗室或生產級環境中使用。它旨在易於使用和維護,但對培訓和知識的要求極低。軟件界面設計直觀,而內部照明系統確保在操作過程中蝕刻表面的可見性。MATTSON Suprema在準確性、精確度和可重復性方面都是先進的解決方案。它是一個可靠和高效的蝕刻器/asher,是為滿足廣泛的需求和喜好而量身定制的。
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