二手 MATTSON Suprema #9358706 待售

MATTSON Suprema是一款可靠、耐用、高精度的蝕刻器/asher,專為晶圓制造過程中的各種應用而設計。為滿足半導體工業的苛刻要求，設計了一種卓越的溫度均勻性和最佳的臨界尺寸控制。該設備采用極化等離子體源和石英室，以修改和改善蝕刻速率均勻性和輪廓控制。設計特性還包括高電流性能、可編程電流步驟以及用於高級蝕刻結果的高真空系統。Suprema使用操縱桿控制器提供行業標準的用戶界面控制,以便於操作和模塊選擇。該工藝氣體由多質量流量計輸送，並為精確蝕刻性能進行控制。該蝕刻器具有兩級顆粒過濾裝置，有助於提高工藝的可重復性，減少蝕刻基板上的汙染。該機兼容六氟化硫、SF6、氯等多種氣體，加上先進的工藝控制功能，包括主動排量泵送、自動配方裝載、樣品旋轉工具等。MATTSON Suprema促進了各種基材的高效可靠蝕刻。它具有一次蝕刻單個或多個晶片的能力和功能，實現了優越的蝕刻速率均勻性、更高的產量和更好的工藝穩定性。兩級顆粒過濾工具確保了最佳蝕刻穩定性和可靠效果。該資產還具有連續流監控、在線分析、自動調整和配方存儲等功能。Suprema定義了蝕刻性能的標準。它結合了高質量的元件和模塊化的設計，以滿足半導體行業的需求。該蝕刻器的溫度均勻性非常適合精確的臨界尺寸控制，而高電流性能和可編程電流步長有助於蝕刻速率均勻性。可靠的清洗模式有助於減少蝕刻基板上的汙染。用戶友好的控制、自動配方加載和樣品旋轉工具使設備成為晶圓制造過程中各種應用的理想選擇。