二手 MAXIS 300L #293586674 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
MAXIS 300L是一種蝕刻器/asher，設計用於各種材料的深度蝕刻和灰化，包括金屬、塑料、陶瓷和矽。這種蝕刻器/asher結合了兩種蝕刻技術--HF（氟化氫）和mp（金屬等離子體）--在單個腔室中實現深度和均勻的蝕刻。MAXIS 300 L采用15英寸方形腔室，由不銹鋼制成，帶有集成的發射器和接收器，實現了全四通道蝕刻/灰化。其獨特的工藝氣體----鈾（U2O2）和六氟化氯（CF6）都增強了蝕刻效果----直接註入腔室，確保整個過程氣體分布均勻。該蝕刻器/灰盒裝有6個石英托盤,其中3個可拆卸,3個固定,用於樣品處理。樣品可以裝載到石英托盤上，並通過一種稱為轉移梭子的機構轉移到腔室。這種穿梭機也被用於將樣品托盤從蝕刻器/asher運送到其他實驗室進一步處理。300L配有內置安全系統,包括自動關閉和緊急停止（EN）按鈕。此外，它的設計目的是防止過壓，確保蝕刻器/灰燼的安全操作。300 L是一種全自動蝕刻器,具有兩種操作模式-全手動和半自動-並提供多種過程監控工具,包括逐步晶圓掃描和模式比較功能。它還帶有一個3D視圖功能，以圖形方式在三個維度上顯示數據，允許用戶查看過程結果。該系統配有可編程邏輯控制（PLC）板,可同步操作多個腔室,並配有用戶友好的圖形用戶界面,提供交互式菜單和作業執行所需的每個步驟的逐步說明。此外，它的智能運動分析軟件（IMAS）軟件能夠快速、方便地校準蝕刻參數，如速度、壓力和工藝時間。此軟件還使用戶能夠控制來自遠程位置的蝕刻過程。MAXIS 300L是各種材料深度蝕刻和粉刷的理想工具。它的雙重蝕刻技術和專門的設計使其非常適合在一系列材料上以高精度進行蝕刻和灰化。它設計用於可靠和可重復的性能,提供增強的安全性和改進的過程控制,從而使其成為高端應用程序的理想蝕刻器/灰度。
還沒有評論