二手 MAXIS 300L #9216760 待售

MAXIS 300L是為制造高分辨率微元件而設計的先進熱蝕刻器和asher。它是一個成熟的平臺，為材料沈積、蝕刻和灰化提供了廣泛的功能。MAXIS 300 L具有堅固的自動化設備和定制設計的氣體入口和氣體分配系統。其設計目的是提供均勻的氣流，以便在殘留汙染最小的情況下進行一致的蝕刻和灰化。該裝置能夠處理各種氣體、基板和施用壓力。300L具有具有柔性氣流配置的高級反應性離子蝕刻（RIE）模塊。RIE模塊支持各種蝕刻化學，包括濕蝕刻、ICP蝕刻、FIB蝕刻和PECVD蝕刻。RIE模塊封裝在密封的腔室中，並配有高精度霧化器、精密氣體噴射機和數字信號處理工具。這確保了對功率和流量等蝕刻參數的嚴格控制，以實現均勻蝕刻和增強圖樣定義。300 L還具有柔性基板裝卸資產。該型號支持包括玻璃、石英、陶瓷材料在內的多種基材。它配備了一個高分辨率的移動臺，確保在基板加載和對準過程中的精度。設備具有高溫、低壓冷卻能力，防止加工過程中過熱。MAXIS 300L還包括一個高級ashing系統和一個高級密封外殼。這支持濕法和等離子體灰化過程。它能夠處理各種具有高加工溫度、壓力和化學性質的材料。高級自動化單元可確保快速、一致的ashing過程。MAXIS 300 L兼容各種成像和計量系統，用於監測設計特征和過程中的測試。該機器具有深入的診斷功能,可實現各種應用程序的精確定制和優化。其他功能包括可定制的氣體管理和軟件控制的自動氣體關閉。300L是制造和修改高分辨率微元件的理想平臺。它提供了可靠的性能、靈活的過程控制和可靠的操作。