二手 MAXIS 300LA #293586670 待售
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MAXIS 300LA是專門為生產、研究和產品開發而設計的蝕刻設備。它是一種水平蝕刻劑，可以處理直徑達300 mm的標準半導體晶片。該系統具有一個自動負載端口、一個主蝕刻機櫃、一個廢氣單元、輔助分離器/攪拌器設備以及一個液晶屏,該液晶屏具有用於服務監控和直觀操作控制的選項。自動載荷端口是一種易於使用的機器人式運輸機，配有兩個軸，有助於管理SC型（球形）晶片的處理。它還最大限度地減少了不可接受的晶圓不對準的機會，提高了生產效率，並提供了容易的非接觸晶圓傳輸。300LA的主機櫃由真空隔離室、靜態床壓力控制器、熱電偶壓力控制器、流動開關壓力控制器和氣體監控器組成。此外，該室的防腐蝕金屬面板旨在消除與外部環境的任何通信。此機櫃有助於控制壓力、溫度和氣體流量,以便精確蝕刻。廢氣機用於將排出的蝕刻副產物從蝕刻室中引出MAXIS 300LA。它有一個排氣板和四個泵，它們共同確保任何產生的蒸氣的安全疏散。300LA還包括輔助分離器/攪拌器設備、閥門陣列、溫度控制和流量控制。這些裝置允許在蝕刻室中精確混合多達兩種前體氣體，以獲得更均勻的蝕刻結果。最後，同時具有服務監控選項和直觀操作員控制的液晶顯示屏允許全面的機器設置、過程控制和排隊工具維護。此功能確保了晶圓的最大產量,而操作員只需付出最小的努力。總之，MAXIS 300LA蝕刻資產是生產、研發半導體晶片的可靠、通用、功能強大的工具。其自動載荷端口確保了晶片處理的簡便和準確，其防腐蝕金屬面板確保了與外部環境的通信，其廢氣模型確保了任何產生的蒸氣的安全排出。其輔助分離器/混合器設備、閥門陣列、溫度和氣體流量控制以及具有服務監控和直觀操作員控制功能的液晶屏確保了質量的一致和最大程度的晶片生產,而操作員只需付出最小的努力。
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