二手 MAXIS 300LA #293591993 待售

MAXIS 300LA是一種高性能的等離子體蝕刻機，能夠處理微電子、生物醫學和微機電系統（MEMS）行業中的各種材料。它具有一個大的，直徑300 mm的蝕刻室；允許快速、高精度的過程編輯輕松；並提供靈活的工作流管理軟件,以實現操作員控制和數據分析。該機具有基於渦輪的集成真空系統，壓力範圍從1 x 10-3到5 x 10-3 mbar。這樣可以對具有各種腔室設置的基板進行蝕刻,對於高蝕刻速率應用,最高溫度可達400°C。此外,它允許快速進場,過程啟動時間小於3分鐘。300LA的高精度處理能力由一張蝕刻配方表進一步啟用,該表具有激光驅動的深度感測和實時特征識別功能。使用該系統，操作員能夠跟蹤特征識別、對齊、配方選擇和快速後處理序列。MAXIS 300LA還提供蝕刻後快速冷卻,冷卻時間少於3分鐘。這種冷卻系統還允許在蝕刻後進行快速晶片處理，平均時間少於3分鐘。該機還具有高級模型,用於模擬零件上的熱、蝕刻和應力效應,從而使versamtication能夠優化工藝參數。300LA旨在確保高效運行和QA/QC合規性。除了參數鎖定、後處理數據跟蹤和統計過程控制等功能外,該機器還提供診斷和反饋功能,幫助維護過程可重復性以及過程跟蹤和可追蹤性。MAXIS 300LA還允許全自動操作,非常適合操作有限的高生產環境。300LA是一個功能強大的高性能蝕刻器/asher,它提供了許多功能和優勢,使其適合各種應用程序。對於那些尋求高精度處理、快速結果和低工藝中斷時間的人來說,它是一個理想的選擇。