二手 MAXIS 300LA #293636259 待售

MAXIS 300LA 蝕刻器/asher是在半導體工業中使用的先進可靠的蝕刻器/asher。300LA旨在提供業界領先的流程周期,使用戶能夠實現亞微米蝕刻和灰化要求。具有較高的刻蝕精度和可重復性.MAXIS 300LA具有先進的化學室，由不銹鋼制成，並具有用於精確溫度控制的集成加熱元件。這樣就消除了外部氣罐，並提供了一個密封室，以實現最大的工藝穩定性。集成加熱元件適用於高達500 °C的溫度範圍。300LA還配備了集成真空抽水設備和壓力控制系統。真空單元能夠達到10-9 torr的真空水平。壓力控制機非常精確，允許在蝕刻和灰化過程中對壓力進行精確控制。這確保了該過程的非同尋常的可重復性。除了腔室外，MAXIS 300LA還提供了一套四個可選的卡式工具托架。這些載流子設計用來容納各種晶圓和基材。300LA還配備了用戶可選擇的編程選項,可以精確控制旋轉程度、功率級別、反應時間等。MAXIS 300LA 蝕刻器/asher能夠提供可靠和一致的結果。憑借其先進的技術和強大的設計,它為需要對半導體應用進行精確蝕刻和灰化的用戶提供了理想的解決方案。