二手 MAXIS 300LA #9402510 待售

MAXIS 300LA是一種適用於多種類型的研究、實驗室和工業應用的高性能蝕刻器/asher。它提供了無與倫比的性能，速度和精確度在蝕刻，ashing和decoating任務。它是為廣泛的應用而設計的，從淺蝕刻通道到晶圓的深蝕刻。它使用兩個平行等離子體，以兩個不同的射頻頻率運行，以確保均勻蝕刻深度。蝕刻深度由300LA軟件精確控制，這也使其能夠與多種基板一起工作，如矽、半導體、玻璃和金屬。它還實現了蝕刻和灰化參數的快速循環,提供了很高的生產率,同時保持了非常低的擁有成本。MAXIS 300LA由堅固可靠的組件組成,確保安全和不間斷的運行。它具有300 mm晶圓蝕刻能力和200 mm晶圓灰化能力的專利等離子體源。它還具有使用壽命長的真空泵,可確保低運行成本.它具有通用和用戶友好的軟件選項,包括配方、宏和脈沖選項。這使它能夠滿足最復雜的應用程序需求。300LA還帶有幾個附件，如階梯電機接口、基板加熱器和物種質譜儀接口。MAXIS 300LA是一個強大的蝕刻和灰化系統設計廣泛使用。其高性能,加上擁有成本的好處,使此工具在要求最苛刻的應用程序中占有一席之地。其用戶友好的軟件選項和附件使其成為研究小組、實驗室和工業蝕刻應用的理想選擇。