二手 MAXIS 300LAH #9409612 待售

MAXIS 300LAH是一種蝕刻器/灰化器，旨在對包括二氧化矽、矽、玻璃和金屬在內的各種材料進行有效的反應性離子蝕刻和灰化。該設備經過精心設計，可實現出色的蝕刻輪廓，在價格有競爭力的平臺上提供統一和可靠的結果。300LAH具有廣泛的特點，適用於各種基材和蝕刻/灰化應用。它配備了300 mm石英氮化硼（QBN）工藝室，最大工作壓力為200 mTorr，適合不同的蝕刻和灰化工藝。過程壓力控制由多級線性粗加工泵和基礎壓力30 mTorr的渦輪泵組合實現。該系統還具有蝕刻源、差動泵送、遙感和手動樣品加載等特點，適用於各種應用。MAXIS 300LAH上的蝕刻源是一種雙渦輪分子泵，具有可調節的水平和垂直方向，便於變換和蝕刻圖樣方向優化。它配備了一臺2 kW的射頻發電機，能夠提供高達2200瓦的功率，由500-VDC電源提供，允許在蝕刻和灰化參數方面最大的靈活性。300LAH還得益於精確的膜片前載荷提升，使基板和晶片能夠在安全的環境中裝載。它的傾轉腔室旋轉單元也是一個顯著的優勢，使得晶片可以方便的操縱直、均勻的蝕刻。為確保用戶的安全環境，MAXIS 300LAH配備了集成應急按鈕，該按鈕在觸發時立即關閉腔室並關閉電源。該計算機還得益於完整的界面,可通過直觀的觸摸屏顯示進行訪問,從而使用戶能夠監督和精確控制流程的每個步驟。總體而言，300LAH是一種經濟高效的蝕刻/灰化工具，適用於晶圓加工、電子元件、陶瓷壓板甚至光電器件等各種應用。其全面的功能和直觀的界面使其成為任何蝕刻/灰化要求的完美工具。