二手 MAXIS 300LC #293643703 待售

MAXIS 300LC是一種全自動蝕刻器和asher設備，設計用於提供高端蝕刻、灰化和化學機械拋光（CMP）工藝。它集成在一個封閉和密封的系統中，該系統提供清潔和受控的環境，以確保一致的結果。該單元包括自動裝載機以及子組件，如基板預處理單元、蝕刻室、CMP室和尾門掃描儀。用戶友好的觸摸屏界面允許輕松輸入蝕刻參數，可以根據流程要求量身定制。自動裝載機能夠處理各種不同的基板，包括復合半導體、金屬合金和陶瓷。300LC 蝕刻器/asher的基材預處理單元是一種利用超聲波從基材中註入和去除工藝介質的自動化機器。此特性允許在基板表面進行精確且均勻的蝕刻。蝕刻室是一種多級工具，可提供高的蝕刻能力以及可選的用於精確蝕刻深度控制的自動塞子資產。CMP腔室設計為提供高蝕刻速率和低CMP功耗。它配備了一個可以精確控制蝕刻速率的自動瀝青捕手。MAXIS 300LC旨在提供通用的CMP功能,具有可變間距和變頻等功能,以優化蝕刻和CMP工藝。一個可選的等離子體灰燼也是可用的.等離子體粉碎機利用射頻技術在廣泛的基材上產生均勻的蝕刻和鈍化。此外，300LC溫度控制模塊允許溫度監測和補償蝕刻和CMP工藝。MAXIS 300LC能夠支持復雜的多步驟邊緣過程,提供最大程度的過程控制和一致性。該模型是為可重復結果而設計的，允許一致和可靠的蝕刻和CMP工藝。設備還配備了大氣控制模塊，具有可調壓力和氧氣水平，用於精確的過程控制。總體而言，300LC蝕刻器是一種功能強大且用途廣泛的蝕刻和CMP系統，可以處理各種基材和工藝。它提供卓越的性能、精確的過程控制和可重復的結果。它是蝕刻和CMP應用在半導體制造、研發等行業的理想解決方案。