二手 MEMSSTAR ORBIS 3000 #293814967 待售

MEMSSTAR ORBIS 3000是一款采用水平和垂直配置設計的蝕刻器/asher設備,可實現過程靈活性和高吞吐量。它基於一個生產級平臺，用於半導體織物和商業化中心，具有可靠的可靠性。該系統利用高效的等離子體蝕刻/灰化工藝來實現銳利的邊緣、精確的圖案和均勻的線寬。ORBIS 3000包括工藝控制和功能，以提供先進的工藝控制，與傳統的幹蝕刻技術相比具有極好的重復性和可靠性。MEMSSTAR ORBIS 3000利用先進的供氣裝置提供精確穩定的氣流，確保過程結果一致。此外,基板偏置發生器會自動調整基板偏置以進行端點檢測,以便在晶圓上進行均勻蝕刻以產生所需的圖樣。ORBIS 3000還使用兩個聯鎖進行過程控制和一個模式匹配算法進行離軸對齊。蝕刻過程包括一系列步驟：氣體進入、射頻電源應用、氣體蝕刻/灰化、腔室/基板清潔和監測結果。該序列由一個實時過程控制器監測，該控制器根據底物溫度、腔室壓力和等離子體組成的波動調整射頻功率和氣體流量。MEMSSTAR ORBIS 3000特別擁有一個直徑為9英寸的腔室、8英寸的青銅渦輪泵，以及一個帶有真空泄漏檢測機的8英寸油擴散泵。該工具能夠操作到6500mTorr。上下電極均具有±旋轉5度的電驅，Z軸行程為25mm。總體而言,ORBIS 3000是一種高級蝕刻器/asher資產,具有多種功能,可幫助優化蝕刻過程。與傳統的幹蝕刻技術相比,該模型提供了卓越的工藝靈活性和可重復性,並且能夠在廣泛的應用中提供穩定、高精度的結果。