二手 MEMSSTAR ORBIS Alpha #293657883 待售

MEMSSTAR ORBIS Alpha是一款先進的蝕刻器和asher，旨在應對廣泛的表面處理應用。這種多功能蝕刻器能夠處理各種基材，包括金屬、陶瓷、復合材料、塑料和各種其他材料。該系統提供兩個獨立的工藝室，共有11種工藝氣體：空氣、氧氣、氮氣、氫氣、氙氣、氙氣、氙氣、氦氣、一氧化碳、六氟化硫和三氧化硫，從而能夠系統地改變蝕刻速率。ORBIS Alpha配備了先進的四區工藝室，提供單面和雙面工藝的能力。這樣就可以在一個過程中對四個不同表面區域的基板進行高效和有效的圖樣化,並能夠覆蓋蝕刻和灰化,以及在單個腔室內進行選擇性蝕刻。MEMSSTAR ORBIS Alpha獨特而高效的設計使它能夠提供業界領先的性能和靈活性。具有進行低SAD和SOG表面處理的能力，可以在控制底切和相對表面粗糙度的同時，提供準確的輪廓和蝕刻速率控制。這使得它能夠在金屬和陶瓷基板上實現高長寬比開口和線寬低至1微米的表面處理。ORBIS Alpha先進的溫度控制蝕刻和灰度處理可以精確控制過程參數和連續批次結果的可重復性。其獨特的高功率微波、高頻和高壓工藝氣體組合提供了優越的蝕刻和沈積效果。MEMSSTAR ORBIS Alpha還包含一個高靈敏度的熱傳感器，可以精確調整工藝參數和復雜的安全系統，以保護基板免受意外過熱的影響。此外,該系統還具有多種集成的外圍設備,如盒式磁帶裝載機、部件篩選器和粒子偏轉器,可促進可靠、可重復和堅固的表面處理。總體而言，ORBIS Alpha是一款先進、靈活且用途廣泛的蝕刻器和asher，提供卓越的分析性能和可重復性。憑借其易於使用的操作和全面的安全系統，該系統是MEMS、半導體和光學行業許多應用的理想選擇。