二手 MITSUBISHI Tamagawa #9085621 待售

MITSUBISHI Tamagawa
ID: 9085621
晶圓大小: 12"
Final clean system, 12".
MITSUBISHI Tamagawa是一款用途廣泛的蝕刻器或asher,專為高精度、高吞吐量和最佳生產力而設計。它具有獨特的雙臂機構,允許自動或手動處理。該過程高度自動化,操作簡單,每個蝕刻過程都由一個中央控制器管理。設備配有車載計算機和方便用戶的軟件,以確保過程的質量和時間可靠和可重復。Tamagawa配備了Auto Wafer Open and Close (AWOC),這是一項專利功能,可精確控制晶圓的打開和關閉。該系統還具有自動控制的保護設置,可保護設備免受磨損,從而確保最大的機器壽命。LCD顯示面板和用戶友好的菜單界面可方便設置和操作。MITSUBISHI Tamagawa是一款功能強大的蝕刻和灰化工具,具有高分辨率激光和三維(3D)掃描頭,可實現快速、精確的蝕刻和灰化。該工具采用激光束掃描、磁控管濺射、等離子體蝕刻等多種技術。它還采用了現代的護套技術,用於嚴密的過程控制、閥門、晶圓開合、樣品到卡盤電極。目的是提供精確的蝕刻和高分辨率的蝕刻,且汙染最小。該工具使用了先進的溫度控制資產,以確保溫度管理受到嚴密監管。此外,該模型使用自動氣體清除和再循環設備,以確保無汙染處理。該系統還可以獨立運行或與其他系統協同運行,以最大限度地提高生產率。玉川是各種蝕刻和灰化應用的理想選擇,包括半導體和顯示器制造。它被設計為高度可靠、高效和支持流程流程。三菱玉川是電子制造、薄膜電子、微電子、醫療應用等多個行業的絕佳選擇。
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