二手 MKS 660-072823-R200 #9164994 待售

MKS 660-072823-R200
ID: 9164994
RF Plasma generators For LAM Flex DS etcher.
MKS 660-072823-R200是一種多功能蝕刻器和灰化器,能夠在各種蝕刻、灰化和清潔應用程序中提供卓越的性能。該設備采用330毫米x 300毫米x 605毫米單室壓板室,容量13升。該腔室由不銹鋼制成,旨在提供極好的耐腐蝕和與腐蝕相關的損傷。該壓板還具有耐腐蝕性能,采用特殊的高性能退火工藝制造。這些特性結合在一起,創造出卓越的蝕刻和ashing體驗。該系統還具有真空源和控制,能夠達到各種溫度和壓力。這是用來抽出platen煙霧,並最優汽化蝕刻和灰化材料,分別。660-072823-R200還包括一些高級操作功能。這包括能夠調整脈沖爐參數,以實現所需的蝕刻、灰化和清潔精確。用戶界面還允許完全控制設備的參數,允許進行調整以精確控制溫度、壓力和處理持續時間。除了機器出色的蝕刻和灰化功能外,MKS 660-072823-R200還具有多種安全系統。這包括一個乙二醇和水冷的外部以防止過度加熱,防凸起以保護壓板和腔室免受任何高溫暴露,以及一個特殊的高壓閥門來控制壓力和溫度波動。這些安全系統旨在為用戶提供操作工具時的安心。660-072823-R200是一個頂級蝕刻器和asher,並為用戶提供可靠的性能,廣泛的蝕刻,ashing和清潔過程。其龐大的腔室容量、先進的脈沖爐控制和先進的安全系統,使其成為精密可靠的蝕刻、灰化和清潔工藝的絕佳選擇。
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