二手 MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC UV-600 #9386602 待售
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MODULAR PROCESS TECHNOLY/MPTC UV-600是一種蝕刻器/asher,旨在滿足高級MEMS、矽和III-V設備制造的苛刻工藝要求。此蝕刻器/asher采用模塊化方法設計,便於自定義和集成到特定應用程序的特定需求中。MPTC UV-600能夠對材料進行極其精確的蝕刻和漸近,最小線寬可達70 nm。MODULAR PROCESS TECHNOLOGY UV-600的模塊化設計允許在許多蝕刻應用程序中實現可定制的靈活性。它具有一個可容納6英寸以下各種晶片尺寸的工藝室,並且可以使用多達108個配方步驟存儲和召回可定制的工藝配方。它還配備了最先進的安全和診斷功能。UV-600采用MPTC獲得專利的分子級聯源（MCS）技術。這項技術為蝕刻器/asher提供了一種創新的等離子體源，它極其穩定且高度可重復。MCS技術采用低成本消耗品，免費維護，稀有氣體消耗量降低10倍。MCS技術的好處轉化為降低成本和提高工藝能力。MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC UV-600還具有利用20種不同的蝕刻氣體種類的令人印象深刻的蝕刻/灰化能力。它能夠進行各種蝕刻和灰化，包括氧基物種、C4F6、Ar、SF6和NF3。通過設置氣體流量、功率、蝕刻時間等工藝參數，可以優化各種應用的蝕刻過程。獨特的蝕刻室設計可在諸如深部反應性離子蝕刻（DRIE）和高度可重復處理等利基市場上獲得。MPTC UV-600具有直觀的用戶界面,為熟練的工程師和新手用戶提供便利。它具有實時溫度和壓力監控系統,顯示在集成的液晶顯示屏中。該機還配備了有助於確保安全和延長設備壽命的故障安全系統。總而言之,MODULAR PROCESS TECHNOLOGY UV-600是一種蝕刻器/asher,旨在提供高度精確、可重復和可定制的蝕刻和灰化功能。它配備了廣泛的蝕刻氣體種類、易於定制的模塊化設計以及直觀的用戶界面,為熟練和新手用戶提供了保證。其獲得專利的MCS技術，加上其實時溫度和壓力監測系統，使其成為可靠、經濟高效的各種材料蝕刻和灰化的強大資源。
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