二手 MODUTEK SPS 620 #9176760 待售

MODUTEK SPS 620是一款蝕刻器/asher,提供高水平的精確性能和可靠性,是各種蝕刻和灰化應用的理想設備。這款高度先進的蝕刻器/asher采用19英寸觸摸屏,使用戶可以輕松訪問其功能強大但用戶友好的軟件。該系統還配備了先進的Vactronic控制單元，為用戶提供最精確的腔室溫度控制可用。SPS 620具有雙腔室設計，允許用戶同時執行蝕刻和灰化過程，而無需將樣品從一個腔室移動到另一個腔室。該機還提供蝕刻和灰化的同步操作，消除了手動操作的需要。內部晶圓承載工具允許精確的晶圓定位，位置精度± 2.5 μ m。該工具還具有一個10 x 10的腔室，可以處理多達8英寸的晶圓，並且可以蝕刻厚達10 μ米的基板。MODUTEK SPS 620采用工業級硬件和組件設計,使其成為最可靠、最耐用的蝕刻和灰化系統之一。其堅固的設計允許最高工藝溫度高達500 °C，而獲得專利的雙壁蝕刻室設計則有助於提供出色的熱保護水平和精確的溫度控制。該資產還具有全自動晶片處理模型，以及內部電子束蒸發器和用於精確蝕刻和灰化的集成氣體混合設備。SPS 620的設計考慮到安全性,具有緊急停止按鈕以及過溫和過壓保護功能。此外,它采用RS 232/485、以太網和USB通信端口的開放式體系結構設計使其能夠輕松集成到現有實驗室系統中。結合先進的功能、精確的性能和可靠的質量,MODUTEK SPS 620確實是任何蝕刻或灰化應用程序的絕佳選擇。