二手 MORY DSV-3000 #9145025 待售

MORY DSV-3000是一種蝕刻機/灰化機，旨在為工業和實驗室應用提供靈活、精確的蝕刻和灰化能力。它具有直觀的圖形用戶界面和自動化流程,允許用戶快速輕松地調整參數和調整設置以滿足其特定需求。DSV-3000配備兩個離子束源，提供優越的離子束質量，光束光斑大小為1.4毫米，離子能量範圍為0至6千伏。這樣可以確保高質量的蝕刻和灰化。該單元還具有可調節的光束傾斜和光束角度控制功能,允許用戶相應地自定義蝕刻和灰化過程。此外,MORY DSV-3000還包括支持多種基材材料的集成基材級。這包括矽、玻璃、金屬、陶瓷和聚合物。隨著基板階段，用戶可以進行各種蝕刻和ashing操作具有極好的精度和可重復性。該單元包括與機器人和視覺系統的完全集成，以實現無人值守操作和自動化。此外，嵌入式控制系統還提供多功能對準、整流拋光、預蝕刻清洗和設備測試等智能流程。這樣可確保執行每個蝕刻或灰化過程以精確匹配用戶的設計意圖。該單元采用XYZ運動系統，允許與基板級進行精細定位調節。DSV-3000還提供一系列軟件工具，如圖像處理、晶圓檢測和自動對齊。這些工具使工作生產和質量管理更加高效和經濟。MORY DSV-3000提供直觀的觸摸屏界面,便於導航和調整流程參數。該裝置的設計符合最苛刻的蝕刻和灰化要求，完全符合CE和RoHS（危險物質限制指令）條例。