二手 MORY V-1500X #9132178 待售

MORY V-1500X是為高性能半導體制造而設計的最先進的蝕刻器/asher。這種設備采用「冷蝕刻」工藝，在基板的蝕刻/灰化，如晶圓、芯片、插入器等方面實現更高的精度和精度。該蝕刻器配有一個多級、高分辨率的真空室，可確保灰化過程中的最佳性能。該室保持一個穩定的環境，其積極的濕度控制，以消除潛在的汙染物。蝕刻/灰化化學品的來源是由一個裝在保護性外殼中的脈沖等離子體火炬提供的。火炬產生等離子體羽流，通過與扇形淋浴板集成的氣體噴嘴輸送到基片。這個淋浴板有助於將羽流均勻地分布在晶圓的整個表面上。這一過程由廣泛的可自定義參數啟用，包括壓力、氣流、脈沖長度、半導體能量和晶圓旋轉速度。蝕刻器還配備了高分辨率、高精度的光學成像設備。該系統便於實時監測蝕刻/灰化過程,從而實現更高的精度和控制。它也用於檢查基板的表面，以確保其均勻性和準確性之前的灰化過程。在安全方面，V-1500X被設計成在嚴格的工業標準內運作。其晶片監控單元裝有三重冗余單元,可準確指示蝕刻/灰化過程中可能發生的任何危險或事件。設備還具有自動故障切換功能,允許它在出現問題時安全地停止進程。最後,MORY V-1500X具有簡單的用戶界面,可輕松自定義參數並快速排除故障。此蝕刻器/asher還具有一些附加功能,如智能冷卻機、遠程監控和內置性能工具,可實現更好的過程控制和監控。