二手 MTJ P291 / P334 #9285840 待售

MTJ P291/ P334是一種高性能的蝕刻和灰化機，設計用於在直徑最大為10英寸（25厘米）的基板上提供極其精確的微電子蝕刻、灰化和微加工。它是一種緊湊、自給自足的設備，易於使用，非常適合大學、實驗室以及半導體和電子制造工藝。P291/ P334是一個專用的蝕刻和灰化系統，能夠蝕刻和灰化淺至1 µm。該機采用微米級精密蝕刻/灰分轉移裝置，並配有自動鎖載機，旨在優化生產率並確保一致的高質量蝕刻和灰分。該機具有先進的過程控制系統，可以處理不同的化學過程和基材，允許用戶為每個過程選擇最佳蝕刻參數。這包括為後流程計量和其他流程功能編程配方設置的能力。MTJ P291/ P334可配置為運行各種蝕刻化學設備,包括KOH、TMAH、MUF和SF6,還具有一個集成的氣櫃,可用於Ar/O2和XeF2流動。P291/ P334的其他功能包括可調節的裝載機和先進的運動工具,以更快、更準確地放置和平移基板。此外，該機具有集成真空資產，允許更高的吞吐量和改進的基板處理。該型號還具有兩個側面冷卻壓縮機、兩個集成溫度控制器和一個具有自動參數調諧的多通道信號處理器，以獲得最佳蝕刻性能。最後，MTJ P291/ P334配備了專利獨立門機構，允許開門時進行保溫。隔離門可防止在蝕刻和灰化過程中發生交叉汙染和熱沖擊問題。此外，設備還融合了壓力傳感器、緊急關機等先進的安全功能，以及直觀的人機界面（HMI），便於操作和監控。