二手 NANOPLAS DSB 6000 #293747090 待售

NANOPLAS DSB 6000是一款針對半導體、MEMS和LED行業中精密、細膩的單面精細圖案工藝而設計的蝕刻器/asher。該裝置設計精度高，動態精度為0.25um線寬和5nm重復尺寸。它配備了由NANOPLAS開發的具有波形葉片精確定位和支撐基座的專利直流光學設備。堅固、無維護的系統具有6 「x 6」固定、不可旋轉的工作基板平臺,可提供高達200 mm x 100 mm的活動加工面積,使其能夠處理大型基板。它能夠蝕刻各種材料，如矽、石英、半導體合金和藍寶石。DSB 6000專為過程靈活性和魯棒性而設計。它具有光纖耦合直接二極管激光器（二極管激光器陣列），3層頂部加熱器具有50 um連續溫度均勻化層，下方頂部加熱面積層500 nm深度。蝕刻器/asher還具有x-y-z電機級、先進的自動堆疊、4掩模對準單元、自動/手動運動控制和自動對焦控制，便於操作。該裝置配備了脈沖沈積激光器，具有40kHz的最大重復率、可調的脈沖能量和速度。用戶友好型設計具有易於操作的人體工程學手柄,LCD顯示屏提供實時信息,NANOPLAS DSB 6000嵌入了強大的診斷和診斷控制算法,使該工具易於使用和維護。為了使資產更加容易,該設備包括一個易於設置和操作的計算機軟件包、一個能夠快速更換asher的自動基板加載模型、一個便於編程的PLC（可編程邏輯控制器）,以及一個便於設置和操作的直觀人機界面。DSB 6000是一種最先進的蝕刻器/asher,非常適合在具有精確的單面精細陣列工藝的生產環境中使用。它是一種可靠、準確的設備，易於使用和操作，將確保精細的圖樣制作過程能夠精確完成。