二手 NAURA / AKRION / NORTH MICROELECTRONICS ELEDE 330 #293660507 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
NAURA/AKRION/NORTH MICROELECTRONICS ELEDE 330是為精密蝕刻和灰化應用而設計的先進蝕刻/灰化設備。該系統由電梯和壓板兩部分組成.升降機將晶片提升到以10mm/sec的速度運行的單元的上部,而壓板由分辨率為0.2um的高精度電動驅動器驅動。機器總占地面積僅為420 x 400毫米，非常適合高混合、低批量生產。NAURA ELEDE 330具有用戶友好的圖形觸摸屏界面,能夠對復雜的流程進行高效編程和過程監控。該工具能夠支持多種氣體配方，使用戶能夠輕松地在蝕刻和灰化過程之間以及從單個機器控制中切換各種氣體混合物。網絡互連功能允許集成到第三方系統中,提供無縫連接和過程反饋數據。AKRION ELEDE 330還擁有離子源組件（ISA）,為所有類型的基板提供卓越的蝕刻和灰化性能。惰性金屬室的設計目的是盡量減少電弧和等離子體泄漏，使任何材料都能均勻蝕刻。等離子體源可以利用頻率和電壓調節來進一步調整和優化，修改電子和粒子的構型，以便微調蝕刻過程。此外,ELEDE 330具有獨立的氣體輸送資產和內置的質量流控制器,允許在蝕刻和灰化過程中進行精確的過程控制。該模型還包括源能量監測器和數字射頻電容控制，確保極其穩定的蝕刻條件。NORTH MICROELECTRONICS ELEDE 330得到了NAURA出色的售後支持服務和保修服務的支持,從而為要求苛刻的蝕刻和灰化應用提供了可靠可靠的解決方案。
還沒有評論