二手 NEMST 2002 #9244938 待售

NEMST 2002是一種蝕刻器/asher或等離子體蝕刻工具，設計用於制造復雜的半導體結構和器件。它通過利用電磁場產生高能等離子體來發揮作用。這個場是由500 kHz，40 mT射頻（RF）電源產生的，它在樣品周圍產生一個均勻的電場。2002由一個不銹鋼腔室、一個圍繞腔室的射頻線圈、一個帶有單一氣體進料的真空系統以及一個要蝕刻的樣品或基板組成。不銹鋼室呈圓柱形，內半徑85厘米，高30厘米。射頻線圈產生電場，而真空系統則將腔室內的壓力維持在安全水平。氣體進料根據要應用的蝕刻類型提供不同的氣體。當對腔室施加低壓（5-7毫巴）並開啟射頻線圈時，蝕刻過程開始，產生均勻的電場。該場導致腔內帶電粒子向樣品加速，釋放能量並建立蝕刻過程。蝕刻速率是可變的，從10到100 nm/min不等。用於蝕刻的氣體種類以及蝕刻條件都是可定制的，可以編入NEMST 2002進行精確蝕刻。此外，2002年可用於進行選擇性蝕刻，其中樣品的某些區域以不同的速率蝕刻。NEMST 2002能夠存儲多達2900種蝕刻配方,並且可以輕松編程。2002年還配備了警告系統等安全功能，在壓力、溫度或射頻傳輸不在安全範圍內時提醒操作員。最後，NEMST 2002是一種設計用於制造先進半導體結構和器件的可靠、高效的蝕刻器。它的射頻線圈產生一個均勻的電場，允許對腔內的樣品進行復雜的處理。此外，2002年用戶友好，非常適合教育和工業應用。