二手 NEMST 2002 #9244939 待售

NEMST 2002是專門為晶圓處理而設計的高級蝕刻器/asher。它具有高吞吐量,最長工藝時間為8秒,高效可靠的單級工藝,產量最大化。2002年推動了一個真正的單級工藝，允許更高的蝕刻速度和減少顆粒缺陷。其先進的工藝控制設備使用預先設定的參數來實現一致的性能,並提供了根據特定材料定制工藝條件的靈活性。加熱器是溫度控制的精確和一致的溫度與精確定位系統的精確目標重復。主室最多可容納12個晶圓。為了保護材料不受氧化，腔室還利用惰性氣體，典型的是氮氣或氙氣。它可定制用於各種蝕刻配方，包括濕法和幹法蝕刻溶液，並具有用於快速蝕刻的自動抽油機。為確保均勻性，通過使用比例閥，工藝氣流是可調可控的，嵌入式熱電偶確保整個蝕刻過程中的關鍵溫度監測。NEMST 2002還具有精確成像和數字圖像處理功能。利用數字成像技術，該裝置能夠在整個蝕刻過程中精確監控晶圓輪廓和端點檢測，精度高。精確的端點識別由超低溫測量機進一步增強，該機監視整個晶圓上的溫度，從而確保一個統一的過程端點。2002年獨特的設計采用先進的工程設計制造。這些部件具有耐腐蝕和耐化學性能，其設計采用精確的測量方法，以實現高性能和一致性。輕巧的設計，加上高工藝速度和可靠性，使得NEMST 2002成為晶圓處理的理想選擇。它的人體工程學也允許方便、便於攜帶和用戶友好的操作。