二手 NEMST 2002S #293610013 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
NEMST 2002S是一種紫外線（UV）蝕刻器/灰燼,廣泛應用於眾多科學和工業領域。這種最先進的光刻儀器設計用於對各種基材中復雜圖案的精密蝕刻。2002S為三維蝕刻提供了四個晶圓容量和運動軸,能夠提供出色的圖樣,並對蝕刻深度、精度和可重復性進行極其嚴格的控制。NEMST 2002S由多種組件組成，如UV燈、石英頂板、成像光學器件、分束器和分束器。紫外線燈提供必要的曝光光，而石英頂板減少了蝕刻過程中曝光產生碎片的機會。利用成像光學器件和分束器將光引導到晶片安裝座，而光束轉運器確保精確的曝光區域。2002S通過預處理、蝕刻和後處理過程運作。在預處理階段，石英頂板被清洗，晶片在蝕刻前塗上光致抗蝕劑。然後通過晶片的紫外線激光曝光進行蝕刻，由分束器和光束轉運器控制，以確保一致的蝕刻深度。最後，後處理過程涉及開發抗蝕劑、化學剝離和抗剝離的過程。然後完成的抵抗模式就可以進一步處理了。NEMST 2002S控制非常精確，能夠以非常高的精度和可重復性蝕刻復雜的圖樣。該儀器已被廣泛應用於工業和科學應用，如口罩生產、OLED制造、薄膜晶體管、醫療設備、太陽能電池制造，僅舉幾例。由於其幾項技術優勢，如提高精度、高可重復性、激光曝光精度以及廣泛的應用用途，2002S被認為是許多行業和實驗室中非常重要的設備。
還沒有評論