二手 NEXSO NSC7000 #9153448 待售

ID: 9153448
PECVD Systems Electric power: 208VAC/100A Air: 75±5 Psig 3/8" PCWS/PCWR: 4 l/m (Max Flow), 4Kg/cm2, 3/8" Exhaust: 60 CFM Cassette chamber: Sensor Loadlock chamber: Robot (Brooks PRI-MTR5) Process chamber: RF power TC heater (6061T6 Aluminum) shower head Vacuum line: Dry pump gate valve throttle valve B Gas line: MFC Air valve gas monitor gas cabinet gas bombe filter.
NEXSO NSC7000是一種先進的蝕刻和灰化工藝設備,用於各種電子應用。它允許精確地應用化學品,以便以極高的精確度在表面上進行蝕刻或灰化處理。該系統是完全自動化的,具有先進的原位電阻級測量以及對工藝參數的自動控制。蝕刻和ashing參數可以從web界面內部編程,允許用戶配置自己的設置,以最適合自己的特定需求。該單元還具有完整的機器監視功能,允許遠程監視整個刀具參數和活動。NSC7000可用於所有類型的蝕刻和灰化過程,包括照片蝕刻、激光陣列和深反應性離子蝕刻(DRIE)。該資產允許在各種基板上應用不同的化學物質,如晶圓、矽和移植物。NEXSO NSC7000包括幾個關鍵部件,包括一個可鍍罐、用於化學沈積的電解質和一個用於蝕刻和灰化過程的真空/背壓室。NSC7000為用戶提供了在各種電子應用中使用不同蝕刻和灰化工藝的靈活性。這包括半導體、多氯聯苯、厚膜電路和磁性線圈的蝕刻,以及光刻抗蝕劑、氧化鋁、玻璃等抗氧化材料的灰化。該模型具有多種工藝氣體,包括氯化氫、三氟化氯和氟化碳氫化合物。該設備旨在確保蝕刻、灰化和化學應用過程中的最高安全和可靠性。它有一個化學惰性鈦罐,防止化學降解,和一個溫度監測系統,確保過程參數保持在安全的工作溫度內。NEXSO NSC7000是一個先進的工藝單元,它允許將化學品安全可靠地應用於各種基材和材料的蝕刻和灰化過程。這臺機器具有靈活、用戶友好的可編程界面,為用戶提供了必要的工具,以安全、準確地實現他們所期望的結果。
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