二手 NEXSO NV10 #9130696 待售
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ID: 9130696
晶圓大小: 5"
優質的: 2002
High current ion implanter, 5"
Main power supply (all UPS power supply) = 208V3 phase 5-wire 135A
Grounding 1 ohm, electric power 45KVA
Cooling water inlet
Cooling water outlet
N2 Gas
CDA
Argon special gas
Boron specialty gas
General exhaust
Toxic exhaust
General vent
2002 vintage.
NEXSO NV10是一種蝕刻器/asher,它是一種在一臺機器中結合蝕刻器和asher功能的設備。它被設計用於制造微型元件,如微電子集成電路(IC)。NV10是一種用於單面和雙面通過蝕刻和工藝分析的自動濕蝕刻和灰化設備,可作為獨立系統使用或與PVD單元集成。它由三個主要組件組成:蝕刻器/asher、托盤和組件機架。該機器能夠以高達100毫米/分鐘的速率蝕刻和粉刷各種基材。NEXSO NV10旨在提供精確的工藝控制,最大蝕刻深度為1 µm,最小蝕刻時間為5分鐘。它還具有動態灰化工具,允許編程和手動灰化。熱傳感器、化學傳感器和光學傳感器確保所有組件的均勻蝕刻和灰化。該機器配備了基於Windows的操作資產,允許操作員編程多個蝕刻配方,並在監控實時流程數據的同時調整流程參數。它還配備了增強型真空絕緣機構,有助於減少熱損失量。NV10是一種緊湊且用途廣泛的蝕刻器/asher,可用於單層和雙層蝕刻。此外,它還提供以太網連接,以便與其他工藝工具集成,並能夠編程各種蝕刻配方。總體而言,NEXSO NV10是一種功能強大且高效的蝕刻器/asher,非常精確,可用於始終如一地生產高質量的IC原型和組件。它結合了自動化過程和精確控制,非常適合半導體和其他微電子器件的制造。它能夠與其他工具集成並提供詳細的工藝數據,這使得它對商業和工業應用更具吸引力。
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