二手 NORDSON MARCH AP-1000 #293616503 待售

NORDON MARCH NORDSON MARCH AP-1000是一款先進的蝕刻器/asher設備,設計用於在GaAs、InP、Si以及其他III-V材料等多種基材上實現高通量和高分辨率。該系統采用低壓反應性離子蝕刻工藝，使細線和通過層的蝕刻極為精確。NORDSON MARCH AP 1000利用多種技術，包括電子回旋共振蝕刻、直流蝕刻、高偏置蝕刻，提供優越的蝕刻速率、優異的蝕刻精度，以及對蝕刻形狀的控制。AP-1000體系結構包括雙頻發生器,可實現兩個同時蝕刻過程,包括中密度等離子體蝕刻和大長寬比蝕刻。先進的晶圓電機組件為生產提供了極好的均勻性和可重復性。該單元配備了一個負載鎖，允許安全的樣品加載，以及一個遠程等離子體源清洗腔室。AP 1000的專有控制軟件允許定制蝕刻參數以獲得最佳效果。該軟件界面使用戶能夠對微波頻率、偏置電壓、工藝壓力等蝕刻配方參數進行編程，以達到最佳性能。此外，該機器還配備了先進的終點檢測方法，包括飛行時間質譜和光發射光譜，以及其他先進的工具，以確保過程的可持續性。這種多功能工具為各種蝕刻和灰化應用程序提供了卓越的性能。蝕刻特征的長寬比可達30：1,薄膜厚度可達100 nm。蝕刻結果的精確度和準確性是市場上最高的產品之一,可為客戶提供各種設備尺寸和幾何形狀的卓越結果。此外,NORDSON MARCH AP-1000的高吞吐量功能使其成為大批量生產的理想選擇。