二手 NORDSON MARCH AP-1000 #293743500 待售
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NORDSON MARCH AP-1000是一款先進的等離子體蝕刻器/asher，設計用於半導體、微電子等需要高精度表面處理的行業的精密表面制備和蝕刻工藝。這款尖端設備提供了一系列創新特性和功能,可提高流程效率、可靠性和控制能力。NORDSON MARCH AP 1000利用先進的等離子體技術在等離子體蝕刻和灰化應用中提供無與倫比的性能。等離子體蝕刻過程涉及使用高能等離子體中的反應性氣體從基板表面去除材料。這樣就形成了精確的蝕刻圖樣以及基板上的深、高長寬比特征,非常適合需要復雜表面修改的各種應用。AP-1000的一個關鍵特征是其高性能射頻電源，它提供了對等離子體密度和均勻性的精確控制。該設備結合了先進的射頻匹配網絡和阻抗調諧能力，確保了向等離子體室的最佳功率傳遞，以實現一致的處理結果。這種先進的電源輸送系統使AP 1000能夠在各種基材和尺寸上實現高蝕刻速率、均勻性和可重復性。NORDSON MARCH AP-1000配備了最先進的氣體輸送裝置，可以精確控制蝕刻和灰化過程中使用的過程氣體。該機具有多個氣體入口,並配有質量流量控制器、壓力調節器和快速連接配件,便於設置和微調工藝參數。氣體輸送工具旨在提供準確和穩定的氣體流速，確保均勻的蝕刻和灰化結果，並最大程度地減少工藝變化。NORDSON MARCH AP 1000的另一個關鍵特點是其先進的腔室設計，為最大的工藝性能和效率而優化。該資產的特點是具有精確溫度控制的高真空室，允許穩定的等離子體條件和一致的處理結果。腔室設計還配備了先進的氣體分配系統、射頻偏置能力和基板加熱選項，使工藝開發和優化具有靈活性。AP-1000配備了用戶友好的界面和軟件控制模型,使操作員能夠輕松編程、監控和優化蝕刻和灰化過程。該設備具有觸摸屏控制面板,具有直觀的導航菜單、實時流程監控功能以及用於流程追蹤和分析的數據記錄功能。軟件控制系統還提供了先進的配方管理工具，允許在不同系統之間輕松進行配方開發、優化和轉移。最後,AP 1000是一個先進的等離子體蝕刻器/asher單元,為精密表面處理應用提供無與倫比的性能、可靠性和控制。NORDSON MARCH AP-1000擁有先進的等離子體技術、高性能RF電源、精密的氣體輸送機、優化的腔室設計以及用戶友好的軟件控制工具,是一種通用高效的解決方案,適用於需要高精度表面修改能力的廣泛行業。
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