二手 NORDSON MARCH AP-1000 #293753808 待售

Normson March NORDSON MARCH AP-1000是用於生產高純度半導體元件和工業產品的蝕刻和灰化系統。該系統由兩個相互連接的會議廳組成；一個等離子體蝕刻室和一個快速熱灰化室。等離子體蝕刻室利用高能電子束產生均勻的熱等離子體環境進行蝕刻過程。這種強大的離子通量有助於快速、精確地去除工藝基板上的氧化物層和其他雜質，同時也將離子損傷和附帶表面損傷降至最低。該腔室的真空額定功率為2毫巴，由48V直流電源供電。第二室，即快速熱灰化室，是一種使用丙烷-空氣混合物快速加熱基板的高溫爐，能夠迅速有效地對等離子體處理後仍然存在的有機物層進行熱分解。溫度可從25攝氏度調節到1400C，腔室可達到2000攝氏度以上的溫度。此外，該腔室還允許氧氣和氮氣的大氣灰化，並允許脫除揮發性殘留物的氙氣灰化。此外，Normson March NORDSON MARCH AP 1000的特色是外部可開啟的側腔，讓使用者可以直接存取基底卡帶，以提高吞吐量；允許快速和方便地交換基板。專用傳輸端口允許外部刀具訪問。所有這些功能為工業和半導體生產中使用的高性能蝕刻和灰化工藝創造了理想的環境,同時提供了安全高效的用戶體驗。諾姆森三月AP-1000使生產優質產品變得簡單方便。