二手 NORDSON MARCH AP-1000 #293771112 待售

NORDSON MARCH AP-1000 Plasma Asher是NORDSON MARCH提供的Plasmatech™蝕刻設備,專為生產多種基材而設計。NORDSON MARCH AP 1000是一個基於獨特等離子體減壓（PRP）室的單室系統，該室同時配備電子回旋共振（ECR）和感應耦合等離子體（ICP）源。AP-1000能夠以盡可能高的重復性和極高的精度蝕刻各種材料。該單元完全配備了大量高度先進的技術，使其能夠加工直徑達12英寸（304.8毫米）的基板，最大縱橫比為10：1。AP 1000能夠產生極均勻的蝕刻深度和大約1 µm的特征大小。該計算機還具有廣泛的功能和功能,包括自動調節工具、可變腔室溫度控制資產以及通過基於Windows的GUI導航的計算機。此外，NORDSON MARCH AP-1000具有更高的沈積頻率，增加蝕刻速率，提高蝕刻均勻性。這是通過使用高頻ECR源實現的，該源的占地面積比大多數其他源都大。此外，該型號還包括蝕刻配方的自動校準，以及樣品加熱器和抗性塗層口罩等多種可選配件。NORDSON MARCH AP 1000是一種設計精良且可靠的設備,非常適合用於研究和高生產環境。