二手 NORDSON MARCH AP-1000 #293798171 待售

ID: 293798171
Plasma cleaner.
NORDSON MARCH AP-1000是設計用於晶圓加工的高級蝕刻器/asher。它是一款臺式機設備,前端有一個負載端口,可擴展多腔室設計,最多可容納8個腔室。該系統具有高長寬比和高選擇性,可用於高產量生產具有關鍵尺寸的高級設備(如內存和顯示設備)。NORDSON MARCH AP 1000具有1000瓦HF發電機,用於優化等離子體生產.它還能產生高質量的等離子體與氧氣,etchoxy,氯氣和氙氣。此外,該單元還具有進一步優化過程的脈沖操作。發電機頻率為13.56 MHz,可處理直徑可達8 〞的晶圓尺寸。該機還具有一套全面的過程監控選項,以確保卓越的可重復性和過程優化。工具軟件可遠程編程,易於定制,而捆綁的PC前端應用為用戶提供了一個簡單直觀的流程控制界面。該資產還包括一個開放平臺傳輸模型,以便於設置和與各種運營商兼容。AP-1000是一個多功能的蝕刻器/asher,可以提供出色的吞吐量和高質量的結果。設備按照高質量標準制造,易於維護和清潔,可長期使用。該系統具有處理各種材料並取得高質量成果的能力,因此提供了極好的投資回報。此外,該設備易於安裝和設置,因此用戶可以從其功能中快速受益。
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