二手 NORDSON MARCH AP-1000 #293829677 待售

NORDSON MARCH AP-1000是一種先進的蝕刻器/asher設備,為專用蝕刻和灰化應用提供卓越的精度和可靠性。NORDSON MARCH AP 1000具有獨特的設計,允許用戶以高精度和可重復性快速高效地繪制基板圖案。這種蝕刻器/asher系統使用直觀的圖形用戶界面進行編程，便於控制各種蝕刻和灰化參數。AP-1000的基板尺寸為500毫米x 500毫米,最大載荷為50公斤。它配備了混合氣體和開浴工藝的氣體混合能力，並且可以過度蝕刻高達0.5 µm。它還具有一個遠程加載/卸載單元，便於基板處理，它提供了極好的重復性，±實時精度。AP 1000帶有多頻頭,使用戶能夠更改過程過度蝕刻、間隙清除和過度蝕刻的頻率。多頻頭還可以控制蝕刻和灰度圖樣的圖樣,並能夠蝕刻高長寬比輪廓。NORDSON MARCH AP-1000還具有線段形狀的模式控制、高級覆蓋控制以及用於原位氣體調節的可編程閾值切換算法。它還具有直接驅動器頭配置,可提高流程可重復性和精度。NORDSON MARCH AP 1000采用強大的分析和診斷軟件包設計,該軟件包提供詳細的過程信息,並具有自動化的數據收集功能。其閉環智能氣體控制機能夠對參數輸入和工藝條件快速反應。AP-1000還采用了通用抽屜配置，使多個基板芯片能夠同時使用，為各種生產配置提供了極大的靈活性。AP 1000提供了一系列全面的工藝選項,使其成為各種蝕刻和ashing應用程序的理想選擇。它提供卓越的準確性和性能,具有可重復性,以及卓越的精度,並具有±的實時精度。NORDSON MARCH AP-1000具有直觀的圖形用戶界面,易於操作和控制,並結合了精密的分析和診斷軟件以獲取詳細的流程信息。