二手 NORDSON MARCH AP-1000 #9196956 待售

NORDSON MARCH AP-1000是為各種半導體蝕刻工藝而設計的蝕刻機。它具有集成真空設備和控制系統，允許用戶選擇諸如端點檢測和基板溫度等參數。蝕刻過程發生在一個石英包裹的腔室中，在那裏要蝕刻的基材被加熱到高溫，並暴露於反應性化學氣體中。NORDSON MARCH AP 1000具有高效的低壓沈積單元,能夠提供精確、均勻的結果。本機還提供快速冷卻和均勻蝕刻型材，非常適合沈積、退火、反應性離子蝕刻等先進應用。此外，蝕刻器還包括一個可容納六個300毫米晶圓的加工室，以及一個冷卻劑和氣體流動工具。AP-1000還包括用於控制基板溫度的溫度控制資產。AP 1000上的圖形用戶界面直觀，允許用戶輕松控制蝕刻過程。Chamber Control Interface允許用戶定制工藝參數，如壓力、溫度、氣流、偏置材料成分以及氣體註入速率和持續時間。ChamberView軟件在蝕刻過程中實時可視化基板的正面和底部平面視圖。在安全性方面，NORDSON MARCH AP-1000采用集成的空氣凈化模型，確保有害氣體和反應產物如金屬鹵化物自動從加工室中除去。該蝕刻器還配有一個免費的冷卻設備，以防止過熱，以及一個緊急電源關閉開關。此外,NORDSON MARCH AP 1000還內置了模塊互鎖系統,可防止進程中斷。總體而言，AP-1000蝕刻器為各種半導體蝕刻工藝提供了一個高度可靠、易於使用的平臺。其申請專利的腔室單元確保了在多個晶圓直徑上的均勻結果，而其高效的沈積機則提供了快速的冷卻速率和精確的蝕刻輪廓。AP 1000還配備了用戶友好的圖形用戶界面和確保安全高效運行的集成安全系統。