二手 NORDSON MARCH AP-300 #293652419 待售

NORDSON MARCH AP-300 Etcher/Asher是一種高效快速作用的臺式蒸氣蝕刻/灰燼設備，用於蝕刻和灰化半導體晶片、MEMS以及Si、SiO2、SiN等其他基材材料。MARCH NORDSON MARCH AP 300 蝕刻器/asher是處理異地研究和原型樣品的理想機器。它結合了烤箱蝕刻/灰分系統的效率和濕蝕刻的多功能性。MARCH AP-300 Etcher/Asher構建在NORDSON MARCH E100平臺上,非常適合研發組織,因為該單元提供了多種流程。MARCH AP 300可以使用不銹鋼鐘罩外殼處理直徑達200毫米的樣品，該外殼能夠產生高達29.5英寸的真空壓力。這提供了均勻且可重復的樣品蝕刻和粉刷，而無需負載鎖或烘烤站。單循環過程控制器用於控制腔室溫度和壓力。控制器采用直觀的軟件界面，采用了最新的微處理器技術，允許定制和可重復的過程。MARCH NORDSON MARCH AP-300 Etcher/Asher還配備了操作員聯鎖、緊急關閉、斷鍵器、真空監控等安全功能。為了提高灰度效率,MARCH NORDSON MARCH AP 300采用了拍打門閥,可在正面和背面灰之間快速輕松切換。集成晶片載波和卡盤與水平支持機保證安全的蝕刻環境，一致的結果和可重復性。MARCH AP-300提供了多種配方編輯選項。它旨在允許用戶通過使用預定義的相位參數設置壓力、時間、溫度和流量來創建過程配方。這意味著用戶可以快速準確地根據自己的需求定制流程。MARCH AP 300還附有專利的NORDSON MARCH無機氧化物去除（M-IOR）工具。這種資產在沈積潤濕層方面不會浪費任何時間-確保完美的氧化物粘附和蝕刻。總體而言,NORDSON MARCH AP-300 Etcher/Asher是一種先進的臺式蝕刻和灰化模型,在半導體、MEMS和其他基板加工方面提供了無與倫比的精度和一致性。其高度可定制和可重復的過程使其成為研發組織的理想設備。